①高质量的高折射率差硅基SiOx集成光波导材料基础薄弱。
国外生长硅基SiOx集成光波导材料的方式主要有两种:以欧美为代表的化学气相沉积法(PECVD),以日本、韩国为代表的火焰水解法(FHD)。
PECVD法精度较高,操控性好;FHD法生长速率快,产业化效率更高,二者各有优缺点,而国内缺乏相关应用基础研究;
②芯片工艺水平达不到芯片产业化要求,特别是在整张晶圆的均匀性、稳定性方面,如二氧化硅厚膜的高深宽比和低损耗刻蚀工艺;
③在产业和市场导向上,过去偏重于买,拿市场换技术。
④此前国内研发环节较为薄弱,这就导致相当一部分高端光芯片还需要依赖进口。
⑤需要综合掌握外延、微纳加工、封装、可靠性等多领域技术工艺,并加以整合集成,属于技术密集型行业。
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